以做到尺寸小、抽速大,适合发展为大抽速的机械线、由于吸气管路短而粗,有利于提高低压力下的抽速。因此,在低压范
围内(1~l00Pa)余摆线泵的抽速特性曲线、余摆线泵的转子和泵体是一对共轭齿形副的啮合运动,因此对被抽气
比外形尺寸显得较大。Байду номын сангаас些缺点迫使人们去研制新型结构的线年开始根据汪克尔汽车转子发动机原理进行了余摆线年
在国际真空科学年会上展出了试验样机;于1972年底开始批量生产。我国随着真
空技术的发展,抚顺真空设备厂与东北大学合作,于1975年研制出我国第一台